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第376章 极紫外光刻机 (第1/2页)
苏扬看了半秒刘元龙,道“这些设备,的确是最新的半导体核心设备,尤其是光刻机。” 说着,指着光刻机道“这台光刻机里面的激光器、光束矫正器、能量控制器、光束形状设置、遮光器、能量探测器、掩模版都是国际最前沿的技术产品。” 苏扬继续道“另外,掩膜台的运动控制精度达到纳米级,物镜、量台、曝光台、内部封闭框架、减振器等物,也都是目前最先进的产品。” “当然,最主要的还是这台光刻机的光源,并非是目前国际国内流行的深紫外光。” “所采用的光是135n的软x射线,也就是极紫外光作为光源。” 苏扬的话音落下。 现场陡然变得一片寂静。 四名高冷的保镖们不知所云,作为退役的军人,他们对这些科技玩意儿一无所知,完全听得云里雾里。 但看到半导体公司的人,一个个都瞠目结舌,傻了似的,又觉得boss的话不明觉厉。 短暂的寂静之后,便是一片哗然,安正国等七人议论纷纷。 “这……” “采用的是135n的极紫外光?” “怎么可能,我前两天才刚刚看的新闻,尼康公司的光刻机,也才在准备进发32n半导体工艺,而光源依旧用的是193n的深紫外光啊!” “是啊,曝光波长一下子降到135n,这岂不是意味着……它能够把光刻技术扩展到32n以下的特征尺寸了!!!” “苏总,您别不是在逗我们开心啊,现在全球范围内,绝对没有任何一家半导体公司,能造出这样的设备!” “苏总,这到底是真是假啊!” 几名远扬半导体的高层,一个个都红着眼眶,把目光不断在苏扬和光刻机的身上徘徊。 作为半导体制造业皇冠上的明珠,光刻机的意义不言而喻。 芯片在生产中需要进行2030次的光刻,耗时占到ic生产环节的50左右,占芯片生产成本的三分之一。 通常意义上来说,只要解决光刻机的问题,那么芯片制造的工程,就完结了一半。 因此,也不怪几个搞半导体的家伙,像是痴·汉一样看着他。 苏扬笑道“行了,你们也别这样看我,是真是假,我嘴上说了也没用,召集人员进行一次实验,不就一目了然了?安总,工厂内应该是有光刻胶和硅片的吧?” 安正国一愣,连忙道“有,都储存着呢,我马上找人来进行实验。” 说着,安正国立刻召集人手,搬来相应的半导体材料。 半导体芯片生产主要分为ic设计、ic制造、ic封测三大环节。 所谓ic,就是集成电路的英文简写。 ic设计是高端技术,也是ter等公司,能屹立于半导体行业巅峰最重要的因素之一。 主要根据芯片的设计目的,进行逻辑设计和规则制定,并根据设计图制作掩模,以供后续光刻步骤使用。 而ic制造,就是半导体芯片的制造了。 一般,要实现芯片电路图从掩模上转移至硅片上,并实现预定的芯片功能。 包括了光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积、化学机械研磨等步骤。 至于ic封测,就是完成对芯片的封装和性能、功能测试,是产品交付前的最后工序。 ic设计就不提了,苏扬有苹果a6处理器的技术,其中就包括了32n芯片的设计。 另外,商城挂着的ter酷睿系列,也有45n——14n芯片的工艺
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